[实用新型]基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统有效
| 申请号： | 201520113267.1 | 申请日： | 2015-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN204666718U | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 王德波;何素峰 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G01R21/00 | 分类号： | G01R21/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 汪旭东 |
| 地址： | 210003 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统，该系统用于在线式测量，在中心信号线传输过程中，MEMS悬臂梁与传输线之间会产生静电力，使悬臂梁下拉，那么悬臂梁与测试电极之间的间距变小，从而其电容值发生改变，通过测量变化的电容值，得到与之一一对应的微波功率。该系统包括砷化镓衬底，在衬底上设有面波导中心信号线(A)、并联的MEMS悬臂梁结构(B)以及电容式微波功率传感器(C)。当微波信号在面波导中心信号线上传输时，两个并联的MEMS悬臂梁在静电力的作用下产生位移，待测功率由电容式微波功率传感器检测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 悬臂梁 并联 微波 功率 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统，其特征在于：所述系统包括共面波导中心信号线(1)、悬臂梁(2)、测试电极(3)、压焊块一(4)、地线(5)、空气桥(6)、测试电极传输线(7)、压焊块二(8)、砷化镓衬底(9)；所述的砷化镓衬底(9)上方设有共面波导传输线，在共面波导中心信号线(1)上方设有悬臂梁(2)；悬臂梁(2)下方设有测试电极(3)，测试电极(3)通过金线连接测试电极传输线(7)；测试电极传输线(7)通过金线连接压焊块二(8)；压焊块一(4)通过金线连接悬臂梁(2)；空气桥(6)通过金线连接地线(5)；所述的共面波导传输线是由共面波导中心信号线(1)、共面波导地线(5)和空气桥(6)组成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京邮电大学，未经南京邮电大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520113267.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
