[实用新型]对基板进行干燥的干燥装置有效
| 申请号： | 201520122819.5 | 申请日： | 2015-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN204620350U | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 吴金力;胡彦明;童光波 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02;H01L21/02;H01L21/67;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种对基板进行干燥的干燥装置，该干燥装置包括干燥室、干燥泵及阀门，阀门连接于干燥室及干燥泵之间，阀门上设有加热装置，加热装置提升所述阀门内水气的温度。本实用新型通过在干燥装置的阀门上设置加热装置，提升阀门内部温度，来防止水气在阀门内部形成液体，减少阀门的清理次数，提高工作效率。同时因为减少了阀门的清理次数，延长了干燥泵的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 进行 干燥 装置 | ||
【主权项】：
一种干燥装置，所述干燥装置包括干燥室、干燥泵及阀门，所述阀门连接于所述干燥室与所述干燥泵之间，其特征在于：所述阀门上设有加热装置，所述加热装置在干燥基板时对所述阀门进行加热。
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