[实用新型]一种用于PECVD镀膜设备的自动上下料装置

摘要

本实用新型公开了一种用于PECVD镀膜设备的自动上下料装置，包括滚轮传送机构、升降电机，升降电机上设有升降台，所述升降台具有升降台上位和升降台下位；所述升降台下位处设有行程开关；所述升降台下位等待区域设有定位汽缸；所述定位汽缸由行程开关控制连接，使定位汽缸具有如下2个工作位。本实用新型通过设置行程开关以及定位汽缸实现了石墨框的准确定位，在石墨框的传输过程中，保证升降电机在运行状态下，石墨框能准确定位而不超出允许范围，避免了升降电机对极限位光电传感器输出信号的盲区，从而解决了升降电机在下降过程中夹住石墨框的故障问题。

主权项

一种用于PECVD镀膜设备的自动上下料装置，包括滚轮传送机构(1)、升降电机，升降电机上设有升降台(8)，所述升降台具有升降台上位(5)和升降台下位(10)；还包括升降台上位等待区域(11)和升降台下位等待区域(9)，所述升降台下位等待区域与所述升降台下位配合并位于升降台下位的侧部；其特征在于：所述升降台下位处设有行程开关(6)；所述升降台下位等待区域设有定位汽缸(7)；所述定位汽缸由行程开关控制连接，使定位汽缸具有如下2个工作位：(1) 当升降台移动至升降台下位时，升降台下压并触发行程开关，行程开关控制定位气缸的活塞下降，石墨框在滚轮传送机构的传输下正常往升降台下位进行传输；(2) 当升降台向上移动时，行程开关被放开，行程开关控制定位气缸的活塞上升，活塞挡于滚轮传送机构的前方，防止石墨框在滚轮传送机构的传输下超出活塞之外。