[实用新型]一种蒸镀载板及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201520128144.5 | 申请日： | 2015-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN204434500U | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 曾庆慧;郭书鹏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及有机发光器件制备技术领域，公开一种蒸镀载板及蒸镀装置，蒸镀载板包括载板本体，载板本体上形成玻璃承载面、且设有多个用于针脚穿过的针脚孔，载板本体背离玻璃承载面的一侧表面上设有当玻璃承载面朝向蒸镀源时覆盖各所述针脚孔的盖板机构。上述蒸镀载板中，当将承载有玻璃基板的载板蒸镀载板放入蒸镀装置的蒸镀腔体中时，载板本体的玻璃承载面朝向蒸镀源，蒸镀载板具有的盖板机构能够将载板本体设有的针脚孔覆盖，进而能够防止辐射信号穿过针脚孔照射至贴附在载板本体的玻璃承载面上的玻璃基板朝向载板本体的一面上，进而使得玻璃基板受热均匀，提高玻璃基板蒸镀作业时的良率，进而提高有机发光器件的产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀载板 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀载板，包括载板本体，所述载板本体上形成玻璃承载面、且设有多个用于针脚穿过的针脚孔，其特征在于，所述载板本体背离所述玻璃承载面的一侧表面上设有当玻璃承载面朝向蒸镀源时覆盖各所述针脚孔的盖板机构。
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