[实用新型]高精度晶体提升装置有效
申请号: | 201520136994.X | 申请日: | 2015-03-11 |
公开(公告)号: | CN204550787U | 公开(公告)日: | 2015-08-12 |
发明(设计)人: | 曹玉宝;黎志欣;理查德·韦伯;刘二飞 | 申请(专利权)人: | 大连连城数控机器股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 116000 辽宁省大连*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高精度晶体提升装置,采用了减速机通过传动轴驱动卷丝轴提升,通过链条同步带动丝杆螺母驱动的拉线位移传感器,以精确反馈晶绳和晶棒状态。本晶体提升装置可保持晶绳下放位置固定,提升速度精确调整,实时监控。并且可以随时判断晶绳下端的垂直高度,为工艺调整和拉晶过程中出现意外情况的处理提供准确的炉内信息,使单晶炉具有更高的可靠性和更灵活的可控制性。 | ||
搜索关键词: | 高精度 晶体 提升 装置 | ||
【主权项】:
高精度晶体提升装置,其特征在于,传动轴(2)一端通过链轮安装在减速机(1)上,传动轴(2)的另一端安装轴承座(5),卷丝轴(3)安装在传动轴(2)上,并且卷丝轴(3)通过传动螺母(4)安装在轴承座(5)上;丝杆(8)一端安装在一个链轮上,丝杆(8)的另一端安装有拉线位移传感器(6),滑块(7)安装在丝杆(8)上,拉线位移传感器(6)的线头连接到滑块(7);传动轴(2)端的链轮与丝杆(8)端链轮通过链条(9)联接。
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