[实用新型]端面研磨装置

摘要

本实用新型公开了一种端面研磨装置，包括竖向设置的主轴、安装在主轴下端的研磨盘、卡装在研磨盘下表面上的辊套和设于研磨盘正下方的研磨台，所述研磨盘下表面上设置三套辊套，三套辊套相对于主轴的轴线均匀布置；将氮化硅片置于辊套内，由主轴施力压紧辊套，主轴带动研磨盘相对于研磨台相对转动，在转动同时，辊套相对于对应限位轮组内的三个限位轮发生滚动，充分研磨氮化硅片的两个表面，在研磨的同时可以向辊套内注入研磨剂，研磨后的氮化硅片粗糙度值达到0.8微米以上，平面度在0.01毫米范围内，产品质量得到了可靠的技术保证，有效地解决了采用手工研磨旋转接头密封不严、产品质量不稳定的缺点。

主权项

一种端面研磨装置，其特征在于：包括竖向设置的主轴（6）、安装在主轴（6）下端的研磨盘（1）、卡装在研磨盘（1）下表面上的辊套（4）和设于研磨盘（1）正下方的研磨台（2），所述研磨盘（1）下表面上设置三套辊套（4），三套辊套（4）相对于主轴（6）的轴线均匀布置。