[实用新型]一种溅射靶有效
| 申请号： | 201520156983.8 | 申请日： | 2015-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN204550698U | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 祝令建;王波;吴国发 | 申请（专利权）人： | 汉能新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100101 北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种溅射靶。该溅射靶材在背板组件的焊接面上浸润一层铟，而后使用含有导电微粒的粘结剂将靶材与背板组件绑定在一起。利用金属铟的低熔点特性，在解绑时能够容易地使靶材、导电胶以及背板组件相互分离。且由于导电胶内部设置有非磁性金属网，所以在解绑时导电胶能够被附着在非磁性金属网上，从而保证背板组件在回收后表面没有导电胶的残留。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 | ||
【主权项】：
一种用于溅射镀膜工艺的溅射靶，其特征在于：该溅射靶包括依次层叠的背板组件、金属铟层、导电胶层和靶材，其中金属铟层通过浸润的方式施加到背板组件的焊接面上，导电胶层中放置有非磁性金属网。
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