[实用新型]一种排阻端面阻挡溅射夹具有效
| 申请号： | 201520179962.8 | 申请日： | 2015-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN204509457U | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 张弦;杜玉龙;韩玉成;周浩;游超;田臻澄 | 申请（专利权）人： | 中国振华集团云科电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 550000 贵州省*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种排阻端面阻挡溅射夹具，包括第一框架(1)和第二框架(2)组成的夹具主体，所述第一框架(1)和第二框架(2)通过螺栓固定夹紧；第一框架(1)和第二框架(2)围成一个中间镂空的区域，区域底部设有垫片(3)，上部有档片(4)，档片(4)通过螺栓与第一框架(1)固定夹紧；所述第一框架(1)的一侧设置有插片(5)，插片(5)一端中间设置有槽孔(6)，插片(5)的槽孔(6)通过螺栓与第一框架(1)固定夹紧。本实用新型具有以下优点：成本低廉，制作简单；可以达到0.1mm的线宽精度；能实现复杂图形的溅射，比如“口”或“B”这种内部有镂空的图形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 端面 阻挡 溅射 夹具 | ||
【主权项】：
一种排阻端面阻挡溅射夹具，包括第一框架(1)和第二框架(2)组成的夹具主体，其特征在于，所述第一框架(1)和第二框架(2)通过螺栓固定夹紧；第一框架(1)和第二框架(2)围成一个中间镂空的区域，区域底部设有垫片(3)，上部有档片(4)，档片(4)通过螺栓与第一框架(1)固定夹紧；所述第一框架(1)的一侧设置有插片(5)，插片(5)一端中间设置有槽孔(6)，插片(5)的槽孔(6)通过螺栓与第一框架(1)固定夹紧。
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