[实用新型]一种位置可调的支撑脚装置

摘要

本实用新型公开了一种位置可调的支撑脚装置，包括支撑环及沿支撑环圆周上方滑槽安装的若干支撑脚本体，支撑脚本体与支撑环之间通过磁性接触方式形成软性连接，可沿支撑环圆周任意调节安装位置及对心距离，避免机械手在触碰时造成损坏；采用环形支撑面结构，使支撑面相对后移，可缩小支撑环直径，避免晶片从支撑环的内径处跌落，并可实现360度自动对心。本实用新型具有结构简单、易实现、可不受设备结构限制、节省设备空间的显著优点。

主权项

一种位置可调的支撑脚装置，其特征在于，包括：支撑环，沿其圆周设有向上开口的环形滑槽，所述滑槽内固设第一磁性体，所述第一磁性体低于所述滑槽槽口；若干支撑脚本体，沿所述支撑环圆周设置，所述支撑脚本体为圆柱体，其上表面具有环形晶片支撑面，其下表面固接第二磁性体，所述第二磁性体下端伸入所述滑槽内，并接触所述第一磁性体形成磁性连接，所述支撑面的中心设有圆锥台；其中，所述第一、第二磁性体之间的极性相反，所述支撑脚本体可通过所述第二磁性体沿所述滑槽移动，所述第二磁性体与所述滑槽之间在槽宽方向留有间隙，以通过所述第二磁性体在所述滑槽的宽度方向内调整其与所述第一磁性体之间的接触位置，来调整所述支撑面与所述支撑环之间的中心距离。