[实用新型]多晶硅还原炉的绝缘套筒有效

专利信息
申请号: 201520196908.4 申请日: 2015-04-02
公开(公告)号: CN204625194U 公开(公告)日: 2015-09-09
发明(设计)人: 李刚 申请(专利权)人: 新德隆特种陶瓷(大连)有限公司
主分类号: C01B33/03 分类号: C01B33/03
代理公司: 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 代理人: 郑自群
地址: 116452 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型提出了一种多晶硅还原炉的绝缘套筒,用于套设在一多晶硅还原炉的电极体上,并位于该多晶硅还原炉的电机座内,该绝缘套筒包括绝缘筒体、连接设于该绝缘筒体中部的绝缘盘及连接设于该绝缘筒体顶端的绝缘顶缘,所述绝缘盘包括由绝缘筒体中部的外周缘向外水平延伸的内环及由该内环的边缘向下垂直延伸的外环,在绝缘套筒设于还原上时,绝缘筒体与绝缘盘及还原炉的底盘之间形成封闭空间,所述绝缘套筒为氮化硅绝缘套筒。本实用新型中的绝缘套筒不会与氢气、氯化氢、氯化硅等气体反应,稳定性好,能起到隔热、防腐、耐高温效果;在组装时,所述绝缘筒体与绝缘盘及还原炉的底盘围成一封闭空间,以降低内硅棒辐射热及高温气流对绝缘套筒的烧毁。
搜索关键词: 多晶 还原 绝缘 套筒
【主权项】:
一种绝缘套筒,用于套设在一多晶硅还原炉的电极体上,并位于该多晶硅还原炉的电机座内,其特征在于:该绝缘套筒包括绝缘筒体、连接设于该绝缘筒体中部的绝缘盘及连接设于该绝缘筒体顶端的绝缘顶缘,所述绝缘盘包括由该绝缘筒体中部的外周缘向外水平延伸的内环及由该内环的边缘向下垂直延伸的外环,在绝缘套筒设于还原炉上时,所述绝缘筒体与绝缘盘及还原炉的底盘之间形成封闭空间,所述绝缘套筒为氮化硅绝缘套筒。
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