[实用新型]一种曝光均匀度好的曝光机有效
申请号: | 201520199780.7 | 申请日: | 2015-04-06 |
公开(公告)号: | CN204515343U | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 陈志林 | 申请(专利权)人: | 深圳市诺林电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人: | 谭宗成 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种曝光均匀度好的曝光机,包括曝光台面、电机、同步带机构和曝光灯,所述同步带机构设置在所述曝光台面上,所述同步带机构包括同步轮和张紧在所述同步轮上的同步带,所述电机与所述同步轮连接,所述曝光灯设置在所述同步带上,所述曝光灯的两端分别连接有导向机构。本实用新型的有益效果是:可通过电机带动同步轮,通过同步轮带动同步带,通过同步带带动曝光灯在曝光台面上移动,有利于提高超大台面的曝光均匀度。 | ||
搜索关键词: | 一种 曝光 均匀 | ||
【主权项】:
一种曝光均匀度好的曝光机,其特征在于:包括曝光台面、电机、同步带机构和曝光灯,所述同步带机构设置在所述曝光台面上,所述同步带机构包括同步轮和张紧在所述同步轮上的同步带,所述电机与所述同步轮连接,所述曝光灯设置在所述同步带上,所述曝光灯的两端分别连接有导向机构。
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