[实用新型]248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜

摘要

一种248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，包括设在同一光轴的前部中继镜组及后部成像镜组，该前部中继镜组由前后依次设置的第一至第三透镜组成；该后部成像镜组由前后依次设置的第四至第十二透镜组成，其中第十二透镜为平行平板镜片，在透射深紫外光线的同时用于支撑被测样品；该两个镜组安装在恒温密封套筒内，每一透镜安装在对应的透镜框内。本实用新型采用高数值孔径的科勒式照明设计，具有亮度均匀、不引入光源伪像、优化像差、抑制杂散光的优点，高数值孔径保证了很高的分辨力。实验证明紫外显微镜下本装置能对100nm线宽产生清晰轮廓像，适用于集成电路光刻掩模版、纳米几何结构栅格和MEMS/NEMS器件关键尺寸的检测照明。

主权项

一种248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，其特征在于，包括设在同一光轴的前部中继镜组及后部成像镜组，该前部中继镜组由前后依次设置的第一至第三透镜组成；该后部成像镜组由前后依次设置的第四至第十一透镜组成；该前部中继镜组及后部成像镜组安装在恒温密封套筒内，每一透镜分别安装在对应的透镜框内。