[实用新型]鼠笼型摆线式工件架有效
| 申请号： | 201520213127.1 | 申请日： | 2015-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN204550708U | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 钱锋;林晶;李恒;孙智慧 | 申请（专利权）人： | 深圳市天星达真空镀膜设备有限公司;哈尔滨商业大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 黑龙江省哈尔*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种鼠笼型摆线式工件架，它包括前导轨、鼠笼型工件篮、后导轨、传动座、电动机、齿轮、支撑架和光电开关，前导轨和后导轨设置在支撑架上，支撑架连接传动座，传动座连接电动机和光电开关，鼠笼型工件篮设置在前导轨和后导轨上，齿轮安装在支撑架的一端。本实用新型能使镀制品的薄膜沉积均匀，沉积厚度可控，故显著增加薄膜制备的重复性与可控性，因其结构特点能在其上下区域安装沉积源，致使镀制的生产效率是传统方式的2至3倍。 | ||
| 搜索关键词： | 鼠笼型 摆线 工件 | ||
【主权项】：
一种鼠笼型摆线式工件架，其特征在于它包括前导轨、鼠笼型工件篮、后导轨、传动座、电动机、齿轮、支撑架和光电开关，前导轨和后导轨设置在支撑架上，支撑架连接传动座，传动座连接电动机和光电开关，鼠笼型工件篮设置在前导轨和后导轨上，齿轮安装在支撑架的一端。
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