[实用新型]一种光学原子力一体化扫描探针显微镜有效
| 申请号： | 201520223175.9 | 申请日： | 2015-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN204556662U | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 韩雄;王矛宏;钱锋;罗力 | 申请（专利权）人： | 苏州飞时曼精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 11210 | 代理人： | 史静 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高新技术*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光学原子力一体化扫描探针显微镜，包括主机、电子学控制器和上位机，主机包括电动样品台，电动样品台连接有照明系统，照明系统的上端设置有CCD装置和目镜，照明系统的上端设置有转换器，转换器的下端设置有若干物镜，若干物镜中的一个设置有探针架，探针架固定设置有扫描探针，转换器的下端一侧还设置有激光检测装置。本实用新型的有益效果：本实用新型显微镜同时集成了光学显微镜和扫描探针显微镜的操作简便、集成度和自动化程度高、样品成像范围大、可实现无极变倍放大的优点，从而解决了微纳行业从微米到纳米任意级别大小分析以及从二维到三维同时成像的问题，可满足科研、工业和教学等不同的应用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 原子 一体化 扫描 探针 显微镜 | ||
【主权项】：
一种光学原子力一体化扫描探针显微镜，其特征在于，包括主机（3）和与所述主机（3）依次连接的电子学控制器（2）和上位机（1），所述主机（3）包括底部的防震台（4），所述防震台（4）上端设置有电动样品台（5），所述电动样品台（5）内部设置有扫描器（6），所述电动样品台（5）通过固定设置于所述防震台（4）上端的支架（7）连接有照明系统（9），所述照明系统（9）的尾部设置有照明光源（8），所述照明系统（9）的上端设置有CCD装置（10）和目镜（11），所述照明系统（9）的上端设置有转换器（12），所述转换器（12）的下端设置有若干物镜（13），其中，若干所述物镜（13）中的一个设置有探针架（15），所述探针架（15）固定设置有扫描探针，所述转换器（12）的下端一侧还设置有激光检测装置（14）。
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