[实用新型]水平连续式磁控溅射镀膜机在线面板恒温加热装置

摘要

本实用新型公开了一种水平连续式磁控溅射镀膜机在线面板恒温加热装置，传输基板上水平设置有铜传导板，铜传导板装有内嵌式热电偶测温棒和PTC恒温低压加热元件，且分别与传输基板上的铜盘电极对应连接；真空腔室底部设置有旋转式导电轮电极，旋转式导电轮电极包括两组：其中一组为电源电极，另一组为测温电极；传输基板的铜盘电极与旋转式导电轮电极对应接触进行电连接时，进行实时温度检测和加热的控制。本实用新型克服了连续磁控溅射镀膜在真空腔室内对待镀面板加热难的问题，提高了被镀显示面板的透明导电膜，抗反射膜，高反射膜的镀膜品质。适合用于提高显示面板透明导电膜，抗反射膜，高反射膜的镀膜品质。

主权项

一种水平连续式磁控溅射镀膜机在线面板恒温加热装置，其特征在于：包括真空腔室、工作平台、传输导轨、传输基板、铜传导板和铜盘电极；工作平台设置在真空腔室内部，工作平台上平行设置有一对传输导轨，传输导轨滑动连接水平设置有用于传输待镀面板的传输基板；传输基板上水平设置有铜传导板，铜传导板装有内嵌式热电偶测温棒和PTC恒温低压加热元件，且PTC恒温低压加热元件的电源引线和热电偶测温棒引线分别与传输基板上的铜盘电极对应连接；真空腔室底部设置有旋转式导电轮电极，旋转式导电轮电极包括两组：其中一组为电源电极，另一组为测温电极；当传输基板到达一真空腔室工作时，传输基板的铜盘电极与旋转式导电轮电极对应接触进行电连接，从而进行待镀面板实时温度检测和加热的控制。