[实用新型]一种等离子体源有效
| 申请号： | 201520226565.1 | 申请日： | 2015-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN204550701U | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 张睿智;林正坤;余永挣;吴刚;王金淼 | 申请（专利权）人： | 浙江水晶光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 318000 浙江省台州市椒*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子体源，包括：用于产生电子的阴极；加热器，所述加热器设置于所述阴极下方，对所述阴极进行加热；用于接收所述阴极产生的电子并产生等离子体的阳极管，所述阳极管包括铝环、充氧环以及钢环；所述铝环、所述充氧环以及所述钢环的表面均设置有隔离层，所述隔离层用于隔离所述等离子体与所述铝环、所述充氧环以及所述钢环接触。本实用新型通过在所述铝环、所述充氧环以及所述钢环的表面均设置有隔离层，阻挡了阳极管产生的大密度等离子体对阳极管中的金属进行轰击作用，避免了打火现象，保护了等离子体源中的金属表面不受污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 | ||
【主权项】：
一种等离子体源，其特征在于，包括：用于产生电子的阴极；加热器，所述加热器设置于所述阴极下方，对所述阴极进行加热；用于接收所述阴极产生的电子并产生等离子体的阳极管，所述阳极管包括铝环、充氧环以及钢环；所述铝环、所述充氧环以及所述钢环的表面均设置有隔离层，所述隔离层用于隔离所述等离子体与所述铝环、所述充氧环以及所述钢环接触。
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