[实用新型]一种COMS图像传感器

摘要

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是一种COMS图像传感器。它包括衬底层、光过滤层和微透镜层；微透镜层包括若干个阵列分布的光接收部和形成于相邻的两个光接收部之间的过渡部，光接收部的厚度大于过渡部的厚度；光过滤层包括光过滤器和栅氧化物层，每个光接收部的下方均设置一光过滤器，栅氧化物层填充于相邻的两个光过滤器之间，光过滤器的截面形状呈上宽下窄的梯形，栅氧化物层的截面形状呈上窄下宽的梯形。本实用新型利用栅氧化物层与光过滤器的光折射率的不同，并且由于光过滤器采用倒置的梯形结构，使得由光接收部入射的光集中于光过滤器上，并由光过滤器输送到衬底层，从而有效的防止了入射光的扩散；进而实现良好的光学控制效果，有利于提高色彩效果。

主权项

一种COMS图像传感器，其特征在于：它包括衬底层、微透镜层以及位于衬底层与微透镜层之间的光过滤层；所述微透镜层包括若干个阵列分布的光接收部和形成于相邻的两个光接收部之间的过渡部，所述光接收部的厚度大于过渡部的厚度；所述光过滤层包括若干个光过滤器和若干个栅氧化物层，每个所述光接收部的下方均设置一光过滤器，所述栅氧化物层填充于相邻的两个光过滤器之间，所述光过滤器的截面形状呈上宽下窄的梯形，所述栅氧化物层的截面形状呈上窄下宽的梯形。