[实用新型]集成传感器的封装结构有效
| 申请号： | 201520231817.X | 申请日： | 2015-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN204464257U | 公开（公告）日： | 2015-07-08 |
| 发明（设计）人： | 端木鲁玉;张俊德;宋青林 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/10 | 分类号： | H01L23/10;H01L23/552;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 马佑平;黄锦阳 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种集成传感器的封装结构，包括：第一基板以及设置在第一基板上的多个传感器，每个传感器均包括MEMS传感器芯片和与MEMS传感器芯片电连接的ASIC芯片；其中，每个传感器均与其它传感器隔离地封装在第一基板上。本实用新型还提出了一种集成传感器的封装结构，所述传感器包括敏感传感器和非敏感传感器，每个敏感传感器均与其它传感器隔离地封装在第一基板上。本实用新型通过腔体分立，将集成传感器的每个传感器单元都进行隔离封装，或者将容易受到干扰的敏感传感器单元进行隔离封装，以屏蔽掉集成传感器的各个传感器单元之间的彼此干扰，有效提升了集成传感器的产品性能。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 传感器 封装 结构 | ||
【主权项】：
一种集成传感器的封装结构，其特征在于，包括：第一基板以及设置在所述第一基板上的多个传感器，每个所述传感器均包括MEMS传感器芯片和与所述MEMS传感器芯片电连接的ASIC芯片；其中，每个所述传感器均与其它传感器隔离地封装在所述第一基板上。
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