[实用新型]飞秒激光微形貌加工装置有效
| 申请号： | 201520241843.0 | 申请日： | 2015-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN204711399U | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 豆照良;唐啸鸣 | 申请（专利权）人： | 天津纳微华瑞科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/0622 | 分类号： | B23K26/0622;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京东方汇众知识产权代理事务所(普通合伙) 11296 | 代理人： | 张淑贤;毛军 |
| 地址： | 300350 天津市津南*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种飞秒激光微形貌加工装置，包括自动化机械手和飞秒激光装置；所述自动化机械手的夹持器对所述飞秒激光装置进行夹持；所述飞秒激光装置包括飞秒激光器、中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜，沿所述飞秒激光器射出的激光输出光路上依次设置有中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜；加工工件时热影响区小、作用时间短，极大提高了形貌加工的精度，同时实现了真正意义上的非热熔性冷加工。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 形貌 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种飞秒激光微形貌加工装置，其特征在于，包括自动化机械手和飞秒激光装置；所述自动化机械手的夹持器对所述飞秒激光装置进行夹持；所述飞秒激光装置包括飞秒激光器、中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜，沿所述飞秒激光器射出的激光输出光路上依次设置有中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜。
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