[实用新型]一种电子工业用氢氟酸的生产系统

摘要

本实用新型涉及一种电子工业用氢氟酸的生产系统，包括无水氟化氢预处理装置、反应罐、冷热水循环装置、喷淋吸收液循环装置和多个成品槽，无水氟化氢预处理装置包括原料贮瓶和加热水桶，原料贮瓶设置在加热水桶中，原料贮瓶与一缓冲罐相连，缓冲罐与反应罐相连，反应罐内部设有换热盘管和通气管，反应罐底部设有微孔膜过滤器；冷热水循环装置包括带有加热器的储水箱和循环自吸泵；喷淋吸收液循环装置包括吸收液储罐和循环泵，吸收液储罐一方面与反应罐相连，另一方面通过循环泵连接至反应罐的喷淋头，此外还与成品槽相连。本生产系统易实施，操作方便，生产成本低，所制备的产品具有多种浓度，产量高，符合环保要求。

主权项

一种电子工业用氢氟酸的生产系统，其特征在于：包括无水氟化氢预处理装置、反应罐、冷热水循环装置、喷淋吸收液循环装置和多个成品槽，所述无水氟化氢预处理装置包括原料贮瓶和加热水桶，所述原料贮瓶设置在加热水桶中，所述原料贮瓶的出料孔通过管道与一缓冲罐的进料口相连，所述缓冲罐的出料孔通过管道与反应罐的原料进孔相连，所述反应罐内部设有换热盘管和通气管，所述反应罐顶部设有氧化反应添加剂加料管，所述反应罐底部的出料孔处设有微孔膜过滤器，所述微孔膜过滤器通过管道与成品槽相连；所述冷热水循环装置包括储水箱、加热器和循环自吸泵，所述加热器采用夹套的形式设置在所述储水箱的外壁上，所述储水箱通过循环自吸泵与所述反应罐内的换热盘管进水口相连，所述换热盘管出水口通过管道直接连接至储水箱；所述喷淋吸收液循环装置包括吸收液储罐和循环泵，所述吸收液储罐一方面通过管道与所述反应罐的出料管相连接，另一方面通过循环泵连接至反应罐顶端内部的喷淋头，此外还与所述成品槽相连，成品槽通过管道与循环泵相连。