[实用新型]一种硅片清洗设备有效
| 申请号： | 201520251385.9 | 申请日： | 2015-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN204638624U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 洪育林;张震;安冠宇;李文文;刘凯 | 申请（专利权）人： | 武汉宜田科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 438400 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种硅片清洗设备，该硅片清洗设备包括清洗机；放置硅片的水槽，与清洗机连接；将硅片由水槽转移至清洗机的机械手臂，机械手臂设置于清洗机或水槽上，或与清洗机以及水槽间隔设置。实施本实用新型实施例，具有如下有益效果：本实用新型的硅片清洗设备将水槽与清洗机连接，使其与清洗机成为一体，让机械手臂直接从水槽中将硅片移动至清洗机中，免去了人工操作，节约了人力；并且，还可以防止硅片在清洗之前接触空气，从而使清洗效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 设备 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗设备，其特征在于，所述硅片清洗设备包括：清洗机；放置硅片的水槽，与所述清洗机连接；将所述硅片由所述水槽转移至所述清洗机的机械手臂，所述机械手臂设置于所述清洗机或所述水槽上，或与所述清洗机以及所述水槽间隔设置。
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