[实用新型]一种测试结构

摘要

本实用新型提供一种测试结构，至少包括：若干测试单元；每个测试单元包括：处于第一水平面的第一金属条和两个第二金属条；第一金属条位于所述第二金属条之间；处于第一水平面上方的第二水平面中的第三金属条和两个第四金属条；第三金属条位于第四金属条之间；第三金属条在第一水平面上的投影相交于第一金属条；第一金属条与两个第四金属条电连接；第三金属条与两个第二金属条电连接；该若干测试单元彼此通过共用第二金属条和第四金属条相互电连接。该测试结构可以在一次测试中对不同金属层及同一金属层中金属结构的工艺状况进行测试，避免测试的繁琐性；同时其寄生电容相比现有测试结构中的寄生电容大大减小，从而提高了器件的性能。

主权项

一种测试结构，其特征在于，所述测试结构至少包括：若干测试单元；所述每个测试单元至少包括：第一水平面以及处于第一水平面的第一金属条和两个第二金属条；所述第一金属条位于所述第二金属条之间且所述第一金属条垂直于所述第二金属条；位于所述第一水平面上方的第二水平面；处于所述第二水平面的第三金属条和两个第四金属条；所述第三金属条位于所述第四金属条之间且所述第三金属条垂直于所述第四金属条；所述第三金属条在所述第一水平面上的投影垂直且相交于所述第一金属条；所述第一金属条与所述两个第四金属条电连接；所述第三金属条与所述两个第二金属条电连接；所述若干测试单元彼此之间通过共用所述第二金属条和第四金属条相互电连接。