[实用新型]一种MEMS执行器

摘要

本实用新型公开了一种MEMS执行器，所述MEMS执行器包含四层结构，其中第二层是该执行器的主要结构层，在两端的阵列V型电热驱动器上加载相同的电压，V型电热驱动器的顶端输出力和位移，经过两级柔性杠杆机构的放大作用，从而使中间的圆环获得较大的转动角度。本实用新型可集成于微机电系统(MEMS)，能够产生大旋转角度的微执行器；且结构简单，设计方法新颖，可采用标准的SOIMUMPs工艺加工，能够有效地增大圆环的转动角度，促进了执行器在MEMS领域的发展和应用。

主权项

一种MEMS执行器，包括旋转圆环（9），其特征在于，它还包括自上而下紧贴的至少四层结构：电极层（a）、结构层（b）、电绝缘氧化隔离层（c）和基底层（d），所述电极层包括四个电极（A1、A2、A3、A4），四个电极（A1、A2、A3、A4）对称分布在执行器的两端；所述结构层包括阵列V型电热驱动器和杠杆，所述杠杆包括推力杠杆（4）和拉力杠杆（7）；所述电绝缘氧化隔离层包括阵列V型电热驱动器的锚点（m、n、p、q）和杠杆的锚点（u、v、x、y）；所述结构层还包括与阵列V型电热驱动器和推力杠杆（4）相连的柔性梁（2）、推力杠杆（4）在锚点（u）处的柔性梁（3）、推力杠杆（4）和拉力杠杆（7）的连接梁（5）、拉力杠杆（7）在锚点（v）处的柔性梁（6）、旋转圆环（9）、拉力杠杠（7）与旋转圆环（9）的柔性连接梁（8），其中推力杠杆（4）和拉力杠杠（7）为柔性杠杆机构的主要组成部分，所述执行器的结构层以旋转圆环（9）为对称点，所述阵列V型电热驱动器和柔性杠杆机构皆是具有一定刚度的弹性机构。