[实用新型]扩散泵节能控制系统有效
| 申请号： | 201520267687.5 | 申请日： | 2015-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN204729362U | 公开（公告）日： | 2015-10-28 |
| 发明（设计）人： | 陈发杰;陈显东 | 申请（专利权）人： | 上海宏昊企业发展有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/08 | 分类号： | F04F9/08 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 201409 上海市奉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及机械技术领域。扩散泵节能控制系统，包括与真空镀膜机的下室联通的真空度控制装置，真空度控制装置设有至少两组，至少两组真空度控制装置与下室并联连接；每组真空度控制装置包括一与下室联通的扩散泵、一排气阀、一抽气阀，每个扩散泵均通过一个抽气阀与下室联通，每个扩散泵通过一个排气阀分别与一维持泵、一前级泵联通；扩散泵的下端部设有一加热器，扩散泵设有一中空腔体，加热器位于中空腔体的下方，扩散泵的内壁设有温度传感器，温度传感器连接一微型处理器系统，微型处理器系统连接加热器。本实用新型通过在扩散泵的内壁设有温度传感器，实时调整工作温度，减少了能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 节能 控制系统 | ||
【主权项】：
扩散泵节能控制系统，包括与真空镀膜机的下室联通的真空度控制装置，其特征在于，所述真空度控制装置设有至少两组，至少两组真空度控制装置与所述下室并联连接；每组所述真空度控制装置包括一与所述下室联通的扩散泵、一排气阀、一抽气阀，每个所述扩散泵均通过一个所述抽气阀与所述下室联通，每个所述扩散泵通过一个所述排气阀分别与一维持泵、一前级泵联通；所述扩散泵的下端部设有一加热器，所述扩散泵设有一中空腔体，所述加热器位于所述中空腔体的下方，所述扩散泵的内壁设有温度传感器，所述温度传感器连接一微型处理器系统，所述微型处理器系统连接所述加热器。
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