[实用新型]吸附悬浮平台有效

专利信息
申请号: 201520269225.7 申请日: 2015-04-29
公开(公告)号: CN204565971U 公开(公告)日: 2015-08-19
发明(设计)人: 魏志忠 申请(专利权)人: 魏志忠
主分类号: B25B11/00 分类号: B25B11/00
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 党晓林
地址: 215163 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种吸附悬浮平台,它包括:下层板,其上形成有一个或多个通道;上层板,其由多孔质的陶瓷材料制成,所述上层板的一面通过胶水与所述下层板粘合,所述上层板的另一面能通过所述下层板的通道而具有正压力或负压力。所述下层板的通道的一端设在所述下层板的底部或侧部,所述下层板的通道的另一端开设在所述下层板的顶部。所述下层板由天然花岗岩或金属材料制成。本实用新型采用上述结构,可以提高该吸附悬浮平台的精度,简化该吸附悬浮平台的制造方法,还可以将待处理的工件悬浮在上层板的表面,从而便于将待处理的工件取放以防止划伤。
搜索关键词: 吸附 悬浮 平台
【主权项】:
一种吸附悬浮平台,其特征在于,它包括:下层板,其上形成有一个或多个通道;上层板,其由多孔质陶瓷材料制成,所述上层板的一面通过胶水与所述下层板粘合,所述上层板的另一面能通过所述下层板的通道而形成正压力或负压力。
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