[实用新型]一种单晶炉系统有效
| 申请号： | 201520270350.X | 申请日： | 2015-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN204803438U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 苏金玉;战永强;陈洁;肖慧转 | 申请（专利权）人： | 特变电工新疆新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶炉系统，其包括副炉室、炉盖及主炉室，该单晶炉系统还包括冷却装置，所述冷却装置包括法兰和中空的筒体，所述筒体设于炉盖内部，晶棒能够从筒体中穿过，所述法兰设于主炉室与炉盖结合的位置，法兰与筒体连通，筒体的顶端的高度高于法兰的高度，冷却水进入法兰后，再流到筒体内，然后从筒体流回至法兰中，最后从法兰流出。该单晶炉系统中的冷却装置的安装方式不受单晶炉脖口的限制，且所述冷却装置的冷却效果好，能够加快热场上部及晶棒表面热量的散失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 系统 | ||
【主权项】：
一种单晶炉系统，包括副炉室、炉盖及主炉室，其特征在于，该单晶炉系统还包括冷却装置，所述冷却装置包括法兰和中空的筒体，所述筒体设于炉盖内部，晶棒能够从筒体中穿过，所述法兰设于主炉室与炉盖结合的位置，法兰与筒体连通，筒体的顶端的高度高于法兰的高度，冷却水进入法兰后，再流到筒体内，然后从筒体流回至法兰中，最后从法兰流出。
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