[实用新型]反馈式声光调制移相干涉系统有效
| 申请号： | 201520271451.9 | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN204902762U | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 林燕彬 | 申请（专利权）人： | 林燕彬 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G02F1/11 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350200 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种反馈式声光调制移相干涉系统，主要包括激光器(1)、多个扩束镜、分光系统(3)、多个调制器、光阑(6)、反射镜(7)、多个准直镜、参考镜(12)和成像透镜(15)，其中，多个扩束镜包括第一扩束镜(2)和第二扩束镜(5)，多个调制器包括第一调制器(4)和第二调制器(10)，多个准直镜包括第一准直镜(8)和第二准直镜(15)。本实用新型提供的反馈式声光调制移相干涉系统利用AOM对光波频率进行高频阶梯调制，实现了条纹相位探测和移相干涉测量，同时还将其用作主动补偿元件，在大光程差的干涉仪中实现了对振动所造成的相位误差进行自适应补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 反馈 声光 调制 相干 系统 | ||
【主权项】：
一种反馈式声光调制移相干涉系统，其特征在于：所述反馈式声光调制移相干涉系统主要包括激光器(1)、多个扩束镜、分光系统(3)、多个调制器、光阑(6)、反射镜(7)、多个准直镜、参考镜(12)和成像透镜(15)，其中，多个扩束镜包括第一扩束镜(2)和第二扩束镜(5)，多个调制器包括第一调制器(4)和第二调制器(10)，多个准直镜包括第一准直镜(8)和第二准直镜(15)，所述激光器(1)、第一扩束镜(2)、分光系统(3)、第一调制器(4)、第二扩束镜(5)、光阑(6)和反射镜(7)设置在同一光轴线上，激光器(1)发射的激光经过第一扩束镜(2)后到达分光系统(3)分成两路，一路经过第一调制器(4)和第二扩束镜(5)到达反射镜(7)，另一路经过分光镜(18)后一路到达被测件(11)，经过分光镜(18)后到达成像透镜(17)。
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