[实用新型]电光调制移相干涉仪

摘要

本实用新型涉及一种电光调制移相干涉仪，主要包括激光器(1)、第一扩束镜(2)、分光系统(3)、第一电光调制器(4)、第二扩束镜(5)、反射镜(7)、第一分光镜(8)、第二分光镜(9)、第二电光调制器(10)、参考镜(12)、成像透镜(15)和CCD(16)，所述第二扩束镜(5)和反射镜(7)之间设置有光阑(6)，所述CCD(16)与成像透镜(15)连接，所述激光器(1)、第一扩束镜(2)、分光系统(3)、第一电光调制器(4)、第二扩束镜(5)、光阑(6)和反射镜(7)设置在同一光轴线上。本实用新型提供的电光调制移相干涉仪利用EOM对光波频率进行高频阶梯调制，实现了条纹相位探测和移相干涉测量，同时通过改变电光晶体输出的o光和e光间的相位差来实现移相和补偿。

主权项

一种电光调制移相干涉仪，其特征在于：所述电光调制移相干涉仪主要包括激光器(1)、第一扩束镜(2)、分光系统(3)、第一电光调制器(4)、第二扩束镜(5)、反射镜(7)、第一分光镜(8)、第二分光镜(9)、第二电光调制器(10)、参考镜(12)、成像透镜(15)和CCD(16)，所述第二扩束镜(5)和反射镜(7)之间设置有光阑(6)，所述CCD(16)与成像透镜(15)连接，所述激光器(1)、第一扩束镜(2)、分光系统(3)、第一电光调制器(4)、第二扩束镜(5)、光阑(6)和反射镜(7)设置在同一光轴线上。