[实用新型]智能控制式扩展光源干涉仪系统

摘要

本实用新型涉及一种智能控制式扩展光源干涉仪系统，主要包括激光光源(1)、小孔光阑(2)、扩束镜(3)、聚焦系统(4)、偏振片(5)、毛玻璃(6)、分束器(7)、准直透镜(8)以及成像透镜(11)，按照激光光源(1)的激光方向依次设置激光光源(1)、小孔光阑(2)、扩束镜(3)、聚焦系统(4)、偏振片(5)、毛玻璃(6)、分束器(7)和准直透镜(8)。本实用新型提供的智能控制式扩展光源干涉仪系统对传统的扩展光源干涉仪进行了改进，设置了可移动的位移台和计算机，实现了光源可调节以及计算机控制，大大提高了测试的精度，做到电脑的精确控制。

主权项

一种智能控制式扩展光源干涉仪系统，其特征在于：所述干涉系统主要包括激光光源(1)、小孔光阑(2)、扩束镜(3)、聚焦系统(4)、偏振片(5)、毛玻璃(6)、分束器(7)、准直透镜(8)以及成像透镜(11)，按照激光光源(1)的激光方向依次设置激光光源(1)、小孔光阑(2)、扩束镜(3)、聚焦系统(4)、偏振片(5)、毛玻璃(6)、分束器(7)和准直透镜(8)。