[实用新型]直控超宽光谱在线膜厚监测系统有效
| 申请号： | 201520283095.2 | 申请日： | 2015-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN204612668U | 公开（公告）日： | 2015-09-02 |
| 发明（设计）人： | 贾秋平;范文生;张智广 | 申请（专利权）人： | 北京同生科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100070 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种直控超宽光谱在线膜厚监测系统，包括光源、光接收单元、光谱仪、触发发送装置、触发接收装置、控制采集单元和主控制器，所述光源照射在接近工件盘中心的外侧固定的监测基片上，通过光接收单元采集反射或透射的光信号传送至所述光谱仪；所述光源采用紫外光源和可见红外光源通过Y型光纤复合，紫外光源和可见红外光源分别连接Y型光纤的两个输入端，所述光谱仪包括若干个响应不同波长范围的CCD阵列光谱仪。 | ||
| 搜索关键词： | 直控超宽 光谱 在线 监测 系统 | ||
【主权项】：
直控超宽光谱在线膜厚监测系统，包括光源、光接收单元、光谱仪、触发发送装置、触发接收装置、控制采集单元和主控制器，所述光源照射在接近工件盘中心的外侧固定的监测基片上，通过光接收单元采集反射或透射的光信号传送至所述光谱仪；其特征在于，所述光源采用紫外光源和可见红外光源通过Y型光纤复合，紫外光源和可见红外光源分别连接Y型光纤的两个输入端，所述光谱仪包括若干个响应不同波长范围的CCD阵列光谱仪。
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