[实用新型]一种抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备

摘要

本实用新型公开了一种抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，包括依次排列连接的上料区、刻蚀槽、第一水槽、碱槽、第二水槽、HF酸槽、第三水槽、烘干槽和下料区；在所述烘干槽与下料区之间设有臭氧机，所述臭氧机包括水蒸气清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱、退火箱、输送带和排气管，所述水蒸气清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱依次排列连接且连接有排气管，输送带设置在所述臭氧机下方。本实用新型不但提高了抗PID电池的良品率，还提升了电池的抗PID性能，此外，致密的二氧化硅层优异的钝化作用还能提高电池的转换效率。

主权项

一种制造抗电势诱导衰减太阳能电池的生产设备，包括依次排列连接的上料区、刻蚀槽、第一水槽、碱槽、第二水槽、HF酸槽、第三水槽、烘干槽和下料区；其特征在，在所述烘干槽与下料区之间设有臭氧机，所述臭氧机包括水蒸气清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱，所述水蒸气清洗箱、干燥箱、臭氧氧化箱和退火箱依次排列连接，在所述臭氧机下方设有输送带，所述水蒸气清洗箱、干燥箱和臭氧氧化箱上连接有排气管。