[实用新型]一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置有效
| 申请号： | 201520291021.3 | 申请日： | 2015-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN204651287U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 詹超;廖其飞;吴宗泽;池旭明;王臻;林土全 | 申请（专利权）人： | 浙江东晶电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 金华科源专利事务所有限公司 33103 | 代理人： | 胡杰平 |
| 地址： | 321025 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于制造石英晶体元件的设备技术领域，具体是一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，由挡板固定底座和钼片板组成，其特征是所述挡板固定底座上设置有旋转电机；电机轴上设置有挡板固定块，挡板通过固定螺丝固定在挡板固定块上；所述钼片板上设置有调试孔。本实用新型的挡板调试装置在控制石英晶体谐振器的调试时，通过旋转电机控制挡板的转动，从而可使挡板达到遮挡调试孔或打开调试孔的目的，调试孔的关闭和打开调节灵活，动作灵敏，产品良率高。同时，挡板厚度较厚，使挡板的使用周期较长，设备故障和维修率低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 离子 刻蚀 挡板 调试 装置 | ||
【主权项】：
一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，包括挡板固定底座和钼片板，其特征是所述挡板固定底座上设置有旋转电机，旋转电机的电机轴上带有挡板；所述钼片板上设置有调试孔。
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