[实用新型]一种剪刀型8英寸区熔单晶炉保温桶有效
申请号: | 201520297328.4 | 申请日: | 2015-05-11 |
公开(公告)号: | CN204676190U | 公开(公告)日: | 2015-09-30 |
发明(设计)人: | 姚长娟;高树良;靳立辉;张学强;刘旭光;王遵义;李宇佳 | 申请(专利权)人: | 天津中环半导体股份有限公司 |
主分类号: | C30B13/04 | 分类号: | C30B13/04 |
代理公司: | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人: | 胡京生 |
地址: | 300384 天津市西青区新技*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种剪刀型8英寸区熔单晶炉保温桶,包括桶体、把手、中轴,桶体为半圆通透桶体,把手前部为内径与桶体外圆柱面外径相同的半圆环、后部为剪刀把型,上面有中轴孔和长圆孔,把手的半圆环固定于桶体的外圆柱面中部成一体,两个装有把手的桶体用中轴穿在两个重叠的中轴孔内固定并使桶体可开合转动,有益效果是结构简单,区熔硅单晶安装方便,可以提高真空电阻炉热场的稳定性,延长区熔炉的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 剪刀 英寸 区熔单晶炉 保温桶 | ||
【主权项】:
一种剪刀型8英寸区熔单晶炉保温桶,包括桶体(1)、把手(2)、中轴(3),其特征在于:桶体(1)为半圆通透桶体,把手(2)前部为内径与桶体(1)外圆柱面外径相同的半圆环(2‑1)、后部为剪刀把型,上面有中轴孔(2‑2)和长圆孔(2‑3),把手(2)的半圆环(2‑1)固定于桶体(1)的外圆柱面中部成一体,两个装有把手(2)的桶体(1)用中轴(3)穿在两个重叠的中轴孔(2‑2)内固定并使桶体(1)可开合转动。
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