[实用新型]一种半导体检验自动标记装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体检验自动标记装置，包括显微镜、检验平台、底座、移动板、直线电机、丝杠、标记组件，直线电机通过丝杠带动移动板做直线运动，设定直线电机转动角度，使得每操作一下第一按钮或第二按钮，移动板带动显微镜移动的距离等于两个晶圆体之间间距，当操作人员发现有焊线不合格的晶圆体时，按下第三按钮，直线电机带动标记组件移动至焊线不合格的晶圆体正上方，气缸带动标记笔向下移动对晶圆体进行标记，当标记笔触发行程开关后，气缸带动标记笔向上运动，同时直线电机带动移动板返回至初始位置。该装置结构简单，自动对焊线不合格的晶圆体进行标记，操作人员不会发生漏标记或重复标记，大大降低操作人员劳动强度。

主权项

一种半导体检验自动标记装置，包括显微镜、检验平台、底座，其特征在于还包括移动板、直线电机、丝杠、标记组件，所述的移动板位于底座上端，所述的移动板与底座滑动相连，所述的直线电机位于移动板下表面右侧，所述的直线电机与移动板螺纹相连，所述的丝杠贯穿直线电机，所述的丝杠与直线电机螺纹相连且与底座转动相连，所述的标记组件还包括支架、气缸、套管、导柱、标记笔、行程开关，所述的支架位于移动板上表面右侧上端，所述的支架与移动板螺纹相连，所述的气缸位于支架下端，所述的气缸与支架螺纹相连，所述的套管位于气缸下端，所述的套管与气缸螺纹相连，所述的导柱位于套管下端，所述的导柱与套管螺纹相连，所述的标记笔位于导柱外壁两侧，所述的标记笔与导柱焊接相连，所述的行程开关位于支架中部，所述的行程开关与支架螺纹相连。