[实用新型]气浮导轨式直线电机模组

摘要

本实用新型涉及电子产品检测设备技术领域，尤其是指一种气浮导轨式直线电机模组，包括导轨座及直线电机，所述直线电机包括固定于导轨座的电机滑轨、电机动子及多个永磁定子，电机滑轨的外壁与电机动子内壁之间有气浮间隔；所述电机动子的顶部开设有节流孔，电机动子的外壁装设有与节流孔连通的气接嘴。高压气经过节流孔进入气浮间隔，并且高压气填充于电机滑轨的外壁与电机动子内壁之间的整个气浮间隔内，高压气产生的张力与电机动子上的承载力相互平衡时气浮间隔形成工作气膜，电机动子与电机滑轨之间通过工作气膜润滑，从而更大限度地减小两者之间的摩擦阻力，提高了直线电机的响应速度和气浮导轨的运行精度。

主权项

气浮导轨式直线电机模组，包括导轨座（1）及直线电机，其特征在于：所述直线电机包括固定于导轨座（1）的电机滑轨（2）、与电机滑轨（2）配合连接的电机动子（3）及一字排列设置于电机滑轨（2）上的多个永磁定子（4），电机动子（3）的两侧均设置有一个滑块侧部（5），所述电机滑轨（2）的一段活动嵌设于两个滑块侧部（5）之间，电机滑轨（2）的外壁与电机动子（3）内壁之间有气浮间隔（6）；所述电机动子（3）的顶部开设有节流孔（7），该节流孔（7）延伸至气浮间隔（6），电机动子（3）的外壁装设有与节流孔（7）连通的气接嘴（8）。