[实用新型]电子显微镜用材料力、热、电场耦合的原位拉伸台

摘要

本实用新型涉及材料拉伸技术领域，具体涉及电子显微镜用材料力、热、电场耦合的原位拉伸台。其包括金属环、拉伸器及驱动组件；金属环中心开通孔；拉伸器包括U”形框、支撑梁、测力悬臂梁和异形臂；拉伸器横跨通孔，“U”形框两分支分别固定金属环上表面；支撑梁和测力悬臂梁两端分别固定连接“U”形框两个分支；中部分别设置一个第一电极，两个第一电极之间为样品放置腔，两个第一电极各自连接第二电极，第二电极设置于“U”形框；异形臂驱动端平行支撑梁，连接端垂直支撑梁，且连接支撑梁中部；驱动组件包括：温变驱动片；温变驱动片平行支撑梁，与异形臂驱动端预设狭缝。利于研究材料预定温度下力、热、电场多场耦合作用的综合性能。

主权项

一种电子显微镜用材料力、热、电场耦合的原位拉伸台，其特征在于，包括：金属环、拉伸器及驱动组件；其中，所述金属环的中心开有通孔；所述拉伸器包括：“U”形框、支撑梁、测力悬臂梁和异形臂；所述拉伸器横跨所述通孔，且“U”形框的两个分支分别固定于所述金属环的上表面；所述支撑梁和所述测力悬臂梁并行排列，且各自的两端分别固定连接于所述“U”形框的两个分支上；所述支撑梁、所述测力悬臂梁的中部分别设置一个第一电极，两个第一电极之间的空间为样品放置腔，两个第一电极各自连接一个第二电极，两个第二电极设置于“U”形框；所述异形臂的两端分别为驱动端、连接端，所述驱动端平行于所述支撑梁，所述连接端垂直于所述支撑梁，且连接于所述支撑梁的中部；所述驱动组件处于所述“U”形框的开口侧，所述驱动组件包括：温变驱动片；所述温变驱动片平行于所述支撑梁，其一端固定连接于所述金属环的上表面，另一端插入所述异形臂围成的空间内，且与所述异形臂的驱动端之间预设狭缝。