[实用新型]气体激光器及其控制装置有效
| 申请号： | 201520324639.5 | 申请日： | 2015-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN204706761U | 公开（公告）日： | 2015-10-14 |
| 发明（设计）人： | 彭硕飞;李建;周桂兵;陈根余;陈燚;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036;H01S3/02;H01S3/22 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种气体激光器及其控制装置，其中气体激光器控制装置，包括：多个工作组件，分别设置于进入气体激光器的混合腔中的每一路气体的进气通道上；每一个工作组件包括压力开关以及质量流量控制器；压力开关用于在进气压力低于预设值时发出报警信号；质量流量控制器用于对进气通道中的气体流量进行实时监测和调节；以及气体控制单元，用于接收报警信号并发出警报、获取气体激光器的工作状态并根据工作状态输出相应的控制信号给每一质量流量控制器；质量流量控制器根据控制信号对相应的气体流量进行调节；气体控制单元还用于根据监测到的实时流量值生成调整信号后输出给质量流量控制器。上述气体激光器控制装置的可靠性较高。本实用新型还涉及一种包括上述控制装置的气体激光器。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 激光器 及其 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种气体激光器控制装置，其特征在于，包括：多个工作组件，分别设置于进入气体激光器的混合腔中的每一路气体的进气通道上；每一个工作组件包括压力开关以及质量流量控制器；所述压力开关和所述质量流量控制器依次沿气体走向设置；所述压力开关用于在进气压力低于预设值时发出报警信号；所述质量流量控制器用于对进气通道中的气体流量进行实时监测和调节；以及气体控制单元，分别与每一个工作组件连接，用于接收所述报警信号并发出警报；所述气体控制单元还用于获取所述气体激光器的工作状态并根据所述工作状态输出相应的控制信号给每一质量流量控制器；所述质量流量控制器根据所述控制信号对相应的气体流量进行调节；所述气体控制单元还用于根据所述质量流量控制器监测到的实时流量值生成调整信号后输出给所述质量流量控制器。
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