[实用新型]一种用于CVD/CVI工艺的尾气处理设备有效
| 申请号： | 201520325066.8 | 申请日： | 2015-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN204723948U | 公开（公告）日： | 2015-10-28 |
| 发明（设计）人： | 冯锋;左新章;成来飞;邬国平;马玉洁;李华民 | 申请（专利权）人： | 西安鑫垚陶瓷复合材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D47/12 | 分类号： | B01D47/12 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 杨亚婷 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于CVD/CVI工艺的尾气处理设备，其中的吸附装置包括金属罐体、设置在金属罐体内的有机物吸附组件和油雾喷洒组件及吸附油，金属罐体上设置有尾气入口和净化气出口，尾气入口与进气管路连接，净化气出口与排气管路连接，油雾喷洒组件的喷油口位于尾气入口下方且朝向尾气入口，油雾喷洒组件的进油口与吸附油相连通，有机物吸附组件位于喷油口的下方吸附油的上方，净化气出口低于有机物吸附组件而高于吸附油油面。尾气从尾气入口进入金属罐体流经喷油口处初步过滤，再进入有机物吸附组件进行二次过滤，之后接触吸附油进行三次过滤。这种多级的过滤方式大幅度的降低尾气中固、液有机物的含量，进而提高后续金属器件的工作安全系数和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 cvd cvi 工艺 尾气 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种用于CVD/CVI工艺的尾气处理设备，包括依次相连的进气管路、吸附装置及排气管路，其特征在于：所述吸附装置包括金属罐体、设置在金属罐体内的有机物吸附组件和油雾喷洒组件及吸附油，所述金属罐体上设置有尾气入口和净化气出口，所述尾气入口与进气管路连接，所述净化气出口与排气管路连接，所述油雾喷洒组件的喷油口位于尾气入口下方且朝向尾气入口，所述油雾喷洒组件的进油口与吸附油相连通，所述有机物吸附组件位于喷油口的下方吸附油的上方，所述净化气出口低于有机物吸附组件而高于吸附油油面。
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