[实用新型]激光清洗机的结构有效
申请号: | 201520335155.0 | 申请日: | 2015-05-22 |
公开(公告)号: | CN204769733U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 章尚仁;江尚伟;陈良波 | 申请(专利权)人: | 全智科技股份有限公司 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00 |
代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人: | 朱凌 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型为有关一种激光清洗机的结构,主要结构包括一用于清洁薄膜式探针卡(Probe Card)的激光产生装置、一位于该激光产生装置的激光照射路径上的机构平台,该机构平台供承载该薄膜式探针卡,以及一设于该激光产生装置一侧供显示激光光点处的影像的影像捕获设备。借上述结构,将待清洁的薄膜式探针卡置于机构平台上,并调整该激光产生装置或该机构平台,使薄膜式探针卡对位激光照射路径,然后进行激光清洗的动作,并配合影像捕获设备更精准的控制位置及检视清洁状态。借此,完成半自动化的薄膜式探针卡的清洁方式。 | ||
搜索关键词: | 激光 清洗 结构 | ||
【主权项】:
一种激光清洗机的结构,其特征在于,包含:一用于清洁薄膜式探针卡的激光产生装置;一位于该激光产生装置的激光照射路径上的供承载薄膜式探针卡的机构平台;一设于该激光产生装置一侧的供显示激光光点处的影像的影像捕获设备。
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