[实用新型]一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针有效
| 申请号： | 201520338048.3 | 申请日： | 2015-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN204721702U | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 顾玉明;胡纯栋;谢亚红;谢远来;李军;杨思皓;邑伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院等离子体物理研究所 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针，包括有探针芯、探针管、法兰座、陶瓷座，探针管的一端与法兰座钎焊在一起，探针管的该端还钎焊有冷却水进、出水管，探针芯和陶瓷座焊接在一起，陶瓷座螺纹固定在探针管上，探针管内开设有与冷却水进、出水管相通的冷却水水槽，探针管中内置两根铁氟龙导线，法兰座上通过卡箍和密封圈密封固定有两个法兰电极，两法兰电极的一端伸入至探针管与两铁氟龙导线连接，两铁氟龙导线的另一端与探针芯连接。本实用新型可以满足需要离子源朗缪尔双探针自由伸缩长度、方便拆卸且具有自冷却功能的要求，且结构简单安装方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 快接可 伸缩 水冷 型朗缪尔双 探针 | ||
【主权项】：
一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针，其特征在于：包括有探针芯、探针管、法兰座、陶瓷座，探针管的一端与法兰座钎焊在一起，探针管的该端还钎焊有冷却水进、出水管，探针芯和陶瓷座焊接在一起，陶瓷座螺纹固定在探针管上，探针管内开设有与冷却水进、出水管相通的冷却水水槽，探针管中内置两根铁氟龙导线，法兰座上通过卡箍和密封圈密封固定有两个法兰电极，两法兰电极的一端伸入至探针管与两铁氟龙导线连接，两铁氟龙导线的另一端与探针芯连接；探针管上还设有离子源探针板接口，探针管上分别套设有压块和压块座，压块、压块座压在离子源探针板接口处，压块座卡在压块上且通过压紧螺母压紧，压块座与压块之间设有O型圈。
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