[实用新型]带有悬空梁式引线结构的GaN肖特基二极管有效
申请号: | 201520349799.5 | 申请日: | 2015-05-27 |
公开(公告)号: | CN204614773U | 公开(公告)日: | 2015-09-02 |
发明(设计)人: | 梁士雄;房玉龙;邢东;王俊龙;杨大宝;张立森;冯志红 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L29/872;H01L21/329 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 夏素霞 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种带有悬空梁式引线结构的GaN肖特基二极管,涉及半导体器件技术领域。所述二极管包括衬底,所述衬底上设有N+型GaN层和N-型GaN层,第一欧姆接触层和N-型GaN层保持间隔设置,右侧高掺杂的N+型GaN层的上表面设有第二欧姆接触层,所述N-型GaN层的上表面设有肖特基接触层,所述肖特基接触层与第二欧姆接触层之间通过空气桥进行连接,所述第一欧姆接触层上设有第一悬空梁式引线,所述空气桥上设有第二悬空梁式引线。所述二极管利用梁式引线结构,可以实现微小芯片的压焊机装配,减少了涂覆导电胶带来的麻烦,降低了器件装配难度,提高工作效率和器件的质量。 | ||
搜索关键词: | 带有 悬空 引线 结构 gan 肖特基 二极管 | ||
【主权项】:
一种带有悬空梁式引线结构的GaN肖特基二极管,其特征在于:包括衬底(1),所述衬底(1)上表面的两个有源区设有高掺杂的N+型GaN层(2),两个高掺杂的N+型GaN层(2)之间设有隔离槽(3),左侧高掺杂的N+型GaN层(2)的上表面设有第一欧姆接触层(4)和N‑型GaN层(5),第一欧姆接触层(4)和N‑型GaN层(5)保持间隔设置,右侧高掺杂的N+型GaN层(2)的上表面设有第二欧姆接触层(6),所述N‑型GaN层(5)的上表面设有肖特基接触层(7),所述肖特基接触层(7)与第二欧姆接触层(6)之间通过空气桥(8)进行连接,所述第一欧姆接触层(4)上设有第一悬空梁式引线(9),所述空气桥(8)上设有第二悬空梁式引线(10)。
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