[实用新型]背光源加工的CO2激光多光束高速划槽装置

摘要

本实用新型涉及背光源加工的CO₂激光多光束高速划槽装置，激光器的光路输出端布置有扩束镜，扩束镜的光路输出端设有45度平面反射镜，45度平面反射镜的反射输出端布置有分束镜，分束镜的光路输出端布置平凸聚焦透镜，平凸聚焦透镜的透射输出端正对于高速精确运动平台。CO₂激光器发出的激光经过光学扩束聚焦变换处理，使其产生需要大小的激光光斑及能量；再通过运动平台以合适的高速运动驱动加工材料的移动，从而在加工材料上形成所需大小的及长度、宽度及深度的沟槽用以导光；通过引入分束镜，实现多光束同时加工，既提高了加工效率又可提高能源利用率。

主权项

背光源加工的CO₂激光多光束高速划槽装置，其特征在于：激光器(1)的光路输出端布置有扩束镜(3)，扩束镜(3)的光路输出端设有45度平面反射镜(4)，45度平面反射镜(4)的反射输出端布置有分束镜(5)，分束镜(5)的光路输出端布置平凸聚焦透镜(6)，平凸聚焦透镜(6)的透射输出端正对于高速精确运动平台(7)，所述高速精确运动平台(7)包含X轴传送单元、Y轴传送单元和耐高温铝制基板，X轴传送单元包括X轴滑轨和控制X轴滑轨运动的电机，Y轴传送单元包括Y轴滑轨和控制Y轴滑轨运动的电机，耐高温铝制基板置于Y轴传送单元的Y轴滑轨上，耐高温铝制基板上固定导光板样品，所述45度平面反射镜(4)、分束镜(5)和平凸聚焦透镜(6)作为一个整体固定于X轴传送单元的X轴滑轨上。