[实用新型]一种新型玻璃板材溅射腔体结构有效
| 申请号： | 201520359669.X | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN204737885U | 公开（公告）日： | 2015-11-04 |
| 发明（设计）人： | 陈铭波 | 申请（专利权）人： | 广东南亮玻璃科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 528500 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型玻璃板材溅射腔体结构，包括进口室、出口室和溅射室，所述进口室和出口室分别设置在溅射室两侧，所述进口室和出口室均设置有抽气泵，进口室和出口室两端均设置有密封门，其中，所述进口室与溅射室之间、溅射室与出口室之间均设置有抽气缓冲结构，所述抽气缓冲结构包括缓冲腔体，所述缓冲腔体内部设置有多个隔离板，所述隔离板将缓冲腔体分隔形成多个缓冲子腔体，所述隔离板设置有让玻璃板材通过的开口；所述各缓冲子腔体均设置有至少一个抽气泵。本实用新型结构简单实用，不但满足大尺寸low-e玻璃板材镀膜溅射工作需求，同时抽气时间短，形成真空环境的速度快，极大的提高了玻璃板材的溅射效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 玻璃 板材 溅射 结构 | ||
【主权项】：
一种新型玻璃板材溅射腔体结构，包括进口室、出口室和溅射室，所述进口室和出口室分别设置在溅射室两侧，所述进口室和出口室均设置有抽气泵，进口室和出口室两端均设置有密封门，其特征在于，所述进口室与溅射室之间、溅射室与出口室之间均设置有抽气缓冲结构，所述抽气缓冲结构包括缓冲腔体，所述缓冲腔体内部设置有多个隔离板，所述隔离板将缓冲腔体分隔形成多个缓冲子腔体，所述隔离板设置有让玻璃板材通过的开口；所述各缓冲子腔体均设置有至少一个抽气泵。
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