[实用新型]一种用于真空镀膜的工件夹具和挂具有效
| 申请号： | 201520364494.1 | 申请日： | 2015-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN204714893U | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 杜旭颖;阮志明;王大洪;曾德强;陈明胜 | 申请（专利权）人： | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 韶关市雷门专利事务所 44226 | 代理人： | 周胜明 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于真空镀膜的工件夹具和挂具，包括一根挂具杆，在挂具杆上设置有等距排列的若干个子扣盘，在每个子扣盘的左右两侧则各设有一个子扣，该子扣呈倒立的门子型结构，子扣能够与夹具上的母扣扣合在一起，所述母扣呈正立的门子型，工件通过夹具上的夹具孔从而固定在挂具杆上。通过本实用新型的实施，生产效率大大提高，成本大大降低，PVD良率高，产品品质大大提高。挂具子扣盘PVD时镀不到膜层，导电性良好，也不存在尖端放电，挂一个夹具只需要3个动作，下挂也很方便，因为没有尖的挂钩，作业人员不会受伤，挂具钩也不容易损坏，可以节约50%的劳动力，PVD机台的产能也提高了46.9%。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 工件 夹具 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜的工件夹具和挂具，包括一根挂具杆，其特征是：在挂具杆上设置有等距排列的若干个子扣盘，在每个子扣盘的左右两侧则各设有一个子扣，该子扣呈倒立的门子型结构，子扣能够与夹具上的母扣扣合在一起，所述母扣呈正立的门子型，工件通过夹具上的夹具孔从而固定在挂具杆上。
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