[实用新型]一种提高MOCVD外延片波长良率的卫星盘有效
| 申请号： | 201520367958.4 | 申请日： | 2015-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN204714941U | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 孙一军;李鸿渐;李盼盼;赵新印;王明洋;金豫浙;李志聪;王辉;王国宏 | 申请（专利权）人： | 扬州中科半导体照明有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B29/40 |
| 代理公司： | 扬州市锦江专利事务所 32106 | 代理人： | 江平 |
| 地址： | 225009 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种提高MOCVD外延片波长良率的卫星盘，在卫星盘体的背面中心开设固定栓支撑小孔，在卫星盘体的正面中心设置一个中心片槽，以所述中心片槽为对称中心，在卫星盘体的正面布置若干边缘片槽，其特征在于：在所述中心片槽的底部开设内凹槽。通过石墨盘与空隙热导率的差异降低中心片的温度，增加中心片波长，使中心片与边缘片波长一致，从而提高外延片生产的波长良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 mocvd 外延 波长 卫星 | ||
【主权项】：
一种提高MOCVD外延片波长良率的卫星盘，包括卫星盘体，在卫星盘体的背面中心开设固定栓支撑小孔，在卫星盘体的正面中心设置一个中心片槽，以所述中心片槽为对称中心，在卫星盘体的正面布置若干边缘片槽，其特征在于：在所述中心片槽的底部开设内凹槽。
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