[实用新型]一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置有效
| 申请号： | 201520371309.1 | 申请日： | 2015-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN205333679U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 潘明虎 | 申请（专利权）人： | 常州朗道科学仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01Q30/10 | 分类号： | G01Q30/10 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人： | 沈兵 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及材料测试仪器技术领域，尤其是一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置，将高灵敏度扫描隧道显微镜小型化，使得和低温制冷装置，恒温腔以及温度控制有机结合起来的设计方案；并构建一种类似的测量装置，此装置可以用于对样品进行变温下高灵敏度扫描隧道显微测量，温度变化范围在10 K 到室温，设计恒定温度波动小于10 mK/小时。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 样品 低温 进行 扫描 探针 显微 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置，其特征是，包括小型化高灵敏度扫描探针显微镜（1）、低温恒温腔（2）、低温制冷装置，所述小型化高灵敏度扫描探针显微镜（1）置于低温恒温腔（2）内，低温恒温腔（2）与低温制冷装置直接相连，样品（4）安装在小型化高灵敏度扫描探针显微镜（1）上。
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