[实用新型]化学品供应系统有效
申请号: | 201520373372.9 | 申请日: | 2015-06-02 |
公开(公告)号: | CN204678062U | 公开(公告)日: | 2015-09-30 |
发明(设计)人: | 张文武;丁秀萍;王强;刁春华;周鹏 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | F17D1/14 | 分类号: | F17D1/14;F17D3/01 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种化学品供应系统,包括:原液桶、补酸泵、补酸过滤器、供应槽、供应泵、供应过滤器、第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀、第四气动阀、第五气动阀、主供液管道、备用供液管道。通过增设备用供液管道及第五气动阀,即使所述化学品供应系统部分单元出现故障,仍能保证所述化学品供应系统正常工作,大大提高了化学品供应系统的稳定性和可靠性,进而提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 化学品 供应 系统 | ||
【主权项】:
一种化学品供应系统,其特征在于,至少包括:原液桶、补酸泵、补酸过滤器、供应槽、供应泵、供应过滤器、第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀、第四气动阀、第五气动阀、主供液管道、备用供液管道;其中所述补酸过滤器及所述供应过滤器均包括进口端及出口端;所述主供液管道将所述原液桶、补酸泵、补酸过滤器、供应槽、供应泵、供应过滤器依次连接;所述备用供液管道一端与所述补酸过滤器的出口端相连接,另一端与所述供应过滤器的进口端相连接;所述第一气动阀位于所述原液桶与所述补酸泵之间的所述主供液管道上;所述第二气动阀位于所述补酸过滤器与所述供应槽之间的所述主供液管道上;所述第三气动阀位于所述供应槽与所述供应过滤器之间的所述主供液管道上;所述第四气动阀位于所述供应过滤器出口端的所述主供液管道上;所述第五气动阀位于所述备用供液管道上。
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