[实用新型]一种蚀刻装置有效
| 申请号： | 201520377737.5 | 申请日： | 2015-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN204994092U | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 王佐;朱拓;周海光;翟青霞;周文涛 | 申请（专利权）人： | 深圳崇达多层线路板有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 冯筠 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公布了一种蚀刻装置，包括第一集液槽、第二集液槽，所述的第一集液槽分别与第一蚀刻槽、第二蚀刻槽连通；所述的第二集液槽分别与第一蚀刻槽、第二蚀刻槽连通；所述第一集液槽内设有可将第一集液槽内蚀刻液输送至其中一蚀刻槽的第一泵，所述第二集液槽内设有可将第二集液槽内蚀刻液输送至另一蚀刻槽的第二泵。本实用新型通过对集液槽和蚀刻槽连通方式的改造，形成各集液槽、蚀刻槽相互连通的蚀刻装置，使蚀刻液在各集液槽、蚀刻槽内相互流通，从而保证蚀刻装置整个蚀刻装置内蚀刻液浓度的稳定性，减少了因蚀刻液浓度不稳定造成的蚀刻过度或蚀刻不净等缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
一种蚀刻装置，其特征在于，包括第一集液槽、第二集液槽，所述的第一集液槽分别与第一蚀刻槽、第二蚀刻槽连通；所述的第二集液槽分别与第一蚀刻槽、第二蚀刻槽连通；所述第一集液槽内设有可将第一集液槽内蚀刻液输送至其中一蚀刻槽的第一泵，所述第二集液槽内设有可将第二集液槽内蚀刻液输送至另一蚀刻槽的第二泵。
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