[实用新型]掩膜装置及掩膜板冷却系统有效
| 申请号： | 201520385806.7 | 申请日： | 2015-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN204714882U | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 王亚 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种掩膜装置，所述掩膜装置和冷却装置连接，其中，所述掩膜装置包括掩膜板，所述掩膜板的表面开设有第一槽，所述第一槽延伸至所述掩膜板的边缘，且所述第一槽中铺设有导热层，所述导热层的厚度和所述第一槽的深度相等。上述掩膜装置能加快对掩膜板的降温，减少掩膜板的温度的变化，进而减少掩膜板在蒸镀过程中引起的变形。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 掩膜板 冷却系统 | ||
【主权项】：
一种掩膜装置，其特征在于，所述掩膜装置包括掩膜板，所述掩膜板的表面开设有第一槽，所述第一槽沿着所述掩膜板的表面延伸至所述掩膜板的边缘，且所述第一槽中铺设有导热层，所述导热层的厚度和所述第一槽的深度相等。
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