[实用新型]干涉测量仪中的准直系统有效
| 申请号： | 201520388462.5 | 申请日： | 2015-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN204807038U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 陈小梅 | 申请（专利权）人： | 陈小梅 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350206 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种干涉测量仪中的准直系统，由激光光源(1)、分光棱镜(2)、耦合系统(3)、干涉腔(4)、准直镜(5)、成像透镜(6)和CCD(7)构成，按照光路方向依次设置激光光源(1)、分光棱镜(2)、耦合系统(3)和干涉腔(4)，在分光棱镜(2)与激光光源(1)发射激光方向垂直的方向设置有准直镜(5)和CCD(7)。本实用新型提供的干涉测量仪中的准直系统为了满足干涉测量仪的需求，可以分析验证光学系统波像差对干涉条纹的影响，通过仿真可以用于检验边缘视场的像差对干涉图的失真和畸变影响。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 测量仪 中的 系统 | ||
【主权项】：
一种干涉测量仪中的准直系统，其特征在于：干涉测量仪中的准直系统由激光光源(1)、分光棱镜(2)、耦合系统(3)、干涉腔(4)、准直镜(5)、成像透镜(6)和CCD(7)构成，按照光路方向依次设置激光光源(1)、分光棱镜(2)、耦合系统(3)和干涉腔(4)，在分光棱镜(2)与激光光源(1)发射激光方向垂直的方向设置有准直镜(5)和CCD(7)。
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